淄博真空泵真空系统分压侧量应用范围，主要有三点：
1.真空和衰面物理研讨
对于通常的真空研讨，真空剖析质谱计的主要用途是剖析真空体系内的剩余气体。而对外表研讨来说，现在已逐渐将真空质谱计和低能电子衍射仪、俄歇电子谱仪、二次离子质谱计、化学剖析电子谱仪和场致发射显微镜等仪器联合运用，用来研讨低压力下的真空物理进程。通常在10-9Pa以致更低的压力下进行分压力侧量。因为选用的真空体系大都为无油或少油的真空泵，所以通常并不要求质谱计有很宽的质量范围。
2.专用器材(如电子显微镜、X射线管、阴极射线管和大型超高频电真空器材)的残气剖析在这一类使用中，不像外表物理研讨那样，需求检侧那么低的分压力，而希望仪器具有较宽的工作质量范围，最少具有能检测真空泵油的裂解物的才能。
3.薄膜技术
制备薄膜时，用真空剖析器操控其技术进程是必要的。在燕发技术中，主要是削减残气气氛以避免氧化;在溅射技术中则重视所充气体纯度，如操控氢和氧的杂质含量。
